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光學微電子凈化工程

時間:2019-03-05 16:03:50
    凈化方案一:
    組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口
    這是一個最傳統的凈化空調系統的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。
    方案特點:
    A.建議新風經過集中處理后再與回風混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;
    C.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。
光學微電子凈化工程
    凈化方案二:
    水冷柜機+增壓風柜+高效送風口
    與前種方案比較,這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房內或凈化車間內,增壓風柜也可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。
    方案特點:
    這種方案可以是一次回風也可以是二次回風,具體根據車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。
光學微電子凈化工程
    凈化方案三:
    分體空調柜機+FFU送風口
    這是最簡易的一個空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車間內,并用彩鋼圍護起來,在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網);KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間。
    方案特點:
    A、無塵車間的潔凈度:LCD制屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
    B、溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。
    C、新風量大
    D、送風量大

電子無塵凈化車間潔凈等級說明

等級 等級說明及車間應用
1級 這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業,對集成電路的精確要求為亞微米
10級 這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業
100級 很多人認為,這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環境要求,100級無塵室可用于醫藥工業的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應用于,植如體內物品的制造,外科手術,包括移植手術,集成器的制造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術后的隔離治療
1000級 這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質微型軸承等
10000級 萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業,此外,萬級無塵車間在醫工業中也很常用
100000級 十萬級無塵車間用于很多的工業部門,比如光學產品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統,液壓或氣壓系統的制造,食品飲料的生產,醫、藥工業也常常使用這一級無塵車間

潔凈室(區)空氣潔凈級別表

潔凈度級別 塵粒最大允許數/立方米≥0.5μm塵粒數 ≥5μm塵粒數 微生物最大允許數浮游菌/立方米 沉降菌/皿
100級 3,500 0 5 1
10,000級 350,000 2,000 100 3
100,000級 3,500,000 20,000 500 10
300,000級 10,500,000 60,000 1000 15

光學微電子凈化工程換氣參數

換氣次數: 100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次 壓差: 主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速: 10級、100級0.3-0.5m/s 溫度: 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃
溫度45-65%
GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜
電子車間濕度略高以免產生靜電
噪聲: ≤65dB(A)
新風補充量: 新風補充量是總送風量的10%-30%
照度: 300LX
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